半導(dǎo)體測(cè)試解決方案專(zhuān)業(yè)品牌蔚華科技(TWSE:3055)攜手旗下數(shù)字光學(xué)品牌南方科技,共同推出業(yè)界首創(chuàng)的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測(cè)系統(tǒng),采用先進(jìn)非線性光學(xué)技術(shù)對(duì)SiC襯底進(jìn)行全片掃描,找出襯底內(nèi)部的致命性晶體缺陷,用以取代現(xiàn)行高成本的破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測(cè)方式,可提升產(chǎn)量并有助于改善制程。若以每個(gè)SiC晶錠需蝕刻2片襯底來(lái)計(jì)算,JadeSiC-NK可為具有100個(gè)長(zhǎng)晶爐的襯底廠省下每年5600萬(wàn)因蝕刻而損耗的成本。
蔚華科技與旗下南方科技發(fā)表業(yè)界首創(chuàng)非破壞性SiC缺陷檢測(cè)系統(tǒng),搶攻第三代半導(dǎo)體檢測(cè)分析市場(chǎng)
需求迅速爆發(fā) SiC襯底與組件供不應(yīng)求 唯KOH是高成本痛點(diǎn)
在現(xiàn)今環(huán)境永續(xù)意識(shí)抬頭的全球趨勢(shì)下,許多國(guó)家已制定電動(dòng)車(chē)的階段性政策目標(biāo),SiC芯片需求迅速爆發(fā),尤其用于生產(chǎn)電動(dòng)汽車(chē)使用的耐高溫高壓SiC功率半導(dǎo)體組件,供給量遠(yuǎn)遠(yuǎn)不及需求。
第三代半導(dǎo)體的襯底材料質(zhì)量決定下游芯片的可靠度及性能優(yōu)劣,但SiC長(zhǎng)晶速度較慢,且襯底晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進(jìn)行抽樣檢測(cè),使得SiC芯片制程成本居高不下,目前全球主要襯底廠皆積極投資產(chǎn)能擴(kuò)充并改善制程,加速產(chǎn)業(yè)布局以搶攻市占率。襯底廠與組件廠若能在制程中對(duì)材料做全面非破壞性檢測(cè),不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學(xué)溶液使用量,更能及早發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,進(jìn)而有效改善制程、提升良率,進(jìn)而在第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)中展現(xiàn)絕佳優(yōu)勢(shì)。
JadeSiC-NK以非線性光學(xué)檢測(cè)取代現(xiàn)行破壞性KOH蝕刻可降低成本提高產(chǎn)能??
南方科技總經(jīng)理王嘉業(yè)表示,目前市場(chǎng)上的光學(xué)技術(shù)只能檢測(cè)表面非晶體缺陷,JadeSiC-NK系統(tǒng)采用先進(jìn)的非線性光學(xué)技術(shù),可對(duì)全片襯底表面到特定深度進(jìn)行掃描,反應(yīng)晶體結(jié)構(gòu)信息,提供晶體缺陷密度及其分布狀況,讓客戶有效掌握襯底質(zhì)量,未來(lái)生產(chǎn)出的組件質(zhì)量與效能也能更加穩(wěn)定。
王嘉業(yè)進(jìn)一步說(shuō)明,JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測(cè)系統(tǒng)專(zhuān)注在穩(wěn)定且有效地找出襯底中的致命性晶體缺陷(BPD,TSD,MicroPipe,StackingFault),相較現(xiàn)行將SiC晶錠切片后取上下二片襯底進(jìn)行檢測(cè)的KOH蝕刻方式,可大幅節(jié)省檢測(cè)時(shí)間與襯底成本。以每個(gè)長(zhǎng)晶爐每月產(chǎn)出四個(gè)晶錠為例,采用JadeSiC-NK后,每個(gè)晶錠可省下二片襯底成本(每片6寸襯底以800美元計(jì)),因此可推估一個(gè)長(zhǎng)晶爐每年可省下人民幣56萬(wàn)元,若是具有100個(gè)長(zhǎng)晶爐的襯底廠,一年即可省下人民幣5600萬(wàn)元!此外,JadeSiC-NK也可針對(duì)同一個(gè)晶錠進(jìn)行100%的晶圓檢查,進(jìn)行詳細(xì)的晶錠分析和批次追踨分析,協(xié)助客戶在高技術(shù)門(mén)檻的第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)加速制程及產(chǎn)量?jī)?yōu)化。
陽(yáng)明交通大學(xué)光電工程學(xué)系講座教授郭浩中表示,蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng),將非線性光學(xué)技術(shù)應(yīng)用在第三代半導(dǎo)體的檢測(cè)分析,有助突破目前業(yè)界在量產(chǎn)及制程改善的技術(shù)瓶頸,對(duì)于產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展提供極大推力,期盼此系統(tǒng)能以更有效更穩(wěn)定的檢測(cè)方法,建立業(yè)界SiC襯底檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn),成為產(chǎn)業(yè)界非線性光學(xué)技術(shù)的領(lǐng)航品牌,引領(lǐng)市場(chǎng)應(yīng)用持續(xù)創(chuàng)新及突破。
從設(shè)備代理到自有產(chǎn)品 跨足光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域蔚華科技前景可期
蔚華科技總經(jīng)理?xiàng)顮d州表示,考慮經(jīng)銷(xiāo)代理的不穩(wěn)定性及追求更好的獲利結(jié)構(gòu),蔚華不斷加強(qiáng)投資自有產(chǎn)品開(kāi)發(fā)以求推出更貼近客戶需求的解決方案,此次透過(guò)并購(gòu)南方科技,加速自有產(chǎn)品的發(fā)展進(jìn)程,讓蔚華從半導(dǎo)體封測(cè)設(shè)備跨足光學(xué)檢測(cè),首先鎖定極具前景的第三代半導(dǎo)體材料缺陷檢測(cè),對(duì)客戶、員工及投資人來(lái)說(shuō)都將是非常振奮人心的新局。
楊燿州進(jìn)一步指出,蔚華與南方科技自經(jīng)銷(xiāo)合作以來(lái)就秉持共同成長(zhǎng)、互相成就的初心,成立先進(jìn)光學(xué)材料檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室讓獨(dú)特的光學(xué)檢測(cè)技術(shù)更快進(jìn)入業(yè)界應(yīng)用,透過(guò)客戶的反復(fù)驗(yàn)證,進(jìn)而調(diào)整產(chǎn)品規(guī)格以滿足客戶需求。除了將非線性光學(xué)技術(shù)應(yīng)用在本次推出的JadeSiC-NK外,未來(lái)也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、硅光子等先進(jìn)光學(xué)檢測(cè)技術(shù)的商業(yè)化,持續(xù)加大研發(fā)能量有效整合集團(tuán)資源,發(fā)揮綜效。
光電科技工業(yè)協(xié)進(jìn)會(huì)董事長(zhǎng)邰中和則表示,非常樂(lè)見(jiàn)兩家臺(tái)灣企業(yè)透過(guò)互補(bǔ)雙贏的結(jié)合產(chǎn)生綜效,更為產(chǎn)業(yè)創(chuàng)造巨大價(jià)值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng)是極具指針性的技術(shù)突破,不但對(duì)全球第三代半導(dǎo)體業(yè)來(lái)說(shuō)是可以大幅降低成本并增加產(chǎn)能的革命性產(chǎn)品,更能讓全球看見(jiàn)蔚華與南方科技在光學(xué)領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力,在未來(lái)蓬勃發(fā)展的第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)扮演關(guān)鍵角色。
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