昨日10時40分左右,在廣州增芯科技有限公司一期廠房的潔凈室內(nèi),在光刻區(qū)特有的淡黃色的燈光下,身穿防塵服的工作人員正忙著為新搬入的光刻機進行定位。
當(dāng)日,增芯科技12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目(簡稱“增芯項目”)光刻機搬入活動在項目現(xiàn)場舉行,這標(biāo)志著增芯項目迎來建設(shè)的關(guān)鍵性節(jié)點,進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段。
正式通線量產(chǎn)指日可待
項目布局:近年來,增城加快構(gòu)建以“芯顯車”為主導(dǎo)的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系,在培育發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)方面,相繼布局了增芯、越海等一批規(guī)模大、能級高、帶動力強的骨干項目,覆蓋集成電路“四梁八柱”中制造、封測、裝備、材料和平臺等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
增芯項目是廣東省、廣州市重點項目,打造國內(nèi)第一條12英寸智能傳感器(MEMS)及特色工藝生產(chǎn)線,對增城乃至廣州、廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。
當(dāng)天上午,記者在增芯項目現(xiàn)場看到,伴隨著屏幕上光刻機從制造下線到運輸送達的紀錄片,在全場嘉賓的見證下,承載著光刻機的車輛緩緩啟動,將設(shè)備運入廠房,完成了增芯項目的重要歷史時刻。
“可以說,光刻機一進場,距離正式通線量產(chǎn)就指日可待?!痹鲂究萍加邢薰究偨?jīng)理張亮在現(xiàn)場接受采訪時表示,光刻機作為整個集成制造中最關(guān)鍵的核心設(shè)備,資金投入占比高達工廠建設(shè)25%。
據(jù)張亮透露,此次光刻機的搬入,意味著增芯項目迎來建設(shè)的關(guān)鍵性節(jié)點,順利進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段?!拔覀冇媱澰诮衲?月完成首批設(shè)備的安裝,今年12月底完成滿足良率的產(chǎn)品下線,目前這兩個節(jié)點正在順利推進中?!?/p>
增芯項目自2022年底動工起,僅用9個月零6天完成自樁基啟動至主廠房封頂建設(shè),實現(xiàn)了“開工一年裝機”,封頂至今僅5個多月便迎來了生產(chǎn)線最核心的裝備——光刻機,步入設(shè)備安裝調(diào)試階段,充分展現(xiàn)了敢為人先的“增城速度”“增芯速度”,切實為廣州東部中心成型起勢提供強支撐、“芯”動力。
“2021年,我也曾站在這里,拿著手機拍過幾張照片,那時還是雜草可齊腰、牛羊在吃草的田園景象?!睆V州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團董事長、上海興橙投資董事長、廣州增芯科技有限公司董事長陳曉飛回想三年前項目的場景,充滿感慨,“如今,增芯經(jīng)過了9個月土建封頂,12個月首臺套設(shè)備搬入,今天更是迎來了工廠最核心設(shè)備——光刻機的搬入,我們一步一個腳印,信心滿滿,充滿希望?!?/p>
“這幾年,我們抓住集成電路產(chǎn)業(yè)這一新質(zhì)生產(chǎn)力高速發(fā)展的時間窗口,在增城國家級開發(fā)區(qū),全力以赴規(guī)劃發(fā)展半導(dǎo)體第三極,為高水平科技自立自強注入全新力量?!标悤燥w表示,作為民營企業(yè),決心與產(chǎn)業(yè)界的上下游一同打造大灣區(qū)的“硅谷”,打造出中國集成電路的又一生態(tài)圈。
做好全鏈條要素保障
目前,增城正不斷加快建設(shè)高端電子信息新材料產(chǎn)業(yè)園,加速打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)園,著力推動全產(chǎn)業(yè)鏈條完整集聚,構(gòu)建粵港澳大灣區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)和產(chǎn)業(yè)高地,助力廣州打造全國集成電路產(chǎn)業(yè)集聚區(qū),助力廣東打造國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“第三極”。
作為廣州半導(dǎo)體與集成電路“一核兩極多點”產(chǎn)業(yè)格局中重要兩極之一,未來,廣州市和增城區(qū)將全力以赴優(yōu)化營商環(huán)境,繼續(xù)提供最優(yōu)質(zhì)、最便捷、最高效的“全生命周期服務(wù)”,大力支持增芯項目建設(shè),做好全鏈條要素保障,保障順利投產(chǎn)。
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